专利摘要:

公开号:WO1991019593A1
申请号:PCT/JP1991/000765
申请日:1991-06-06
公开日:1991-12-26
发明作者:Shigeru Bando
申请人:Bando Kiko Co., Ltd.;
IPC主号:B24B7-00
专利说明:
[0001] 明 細 書
[0002] ガラス板の平面研磨機械 技術分野
[0003] 本発明は、 ガラス板の面を平面研磨して液晶表示装置の 表示画面に使用するガラス板、 コ ピー装置の原稿載置面に 使用するガラス板等の精度の高い平坦度、 平面度を必要と するガラス板を生産するガラス板の平面研磨機械に関する 。 背景技術
[0004] 従来のガラス板の平面研磨機械においては、 主にスピー ドフ ァ ーム社製の機械に代表されるよ う に、 回転する研磨 定盤上に、 研磨剤を供耠しながら保持パッ ト装置によ り保 持され同時に回転されるガラス板を押圧して、 ガラス板の 平面研磨を行って いる 。
[0005] また他のガラス板の平面研磨機械では、 上記の方法に加 えてガラス板を保持する保持パッ ト部を平面内で円弧運動 させてガラス板の平面研磨を行っている。
[0006] と こ ろでこれらの平面研磨機械の研磨定盤では、 その回 転における平面精度を十分に高く しなければならないため、 研磨定盤の大き さに制限があ り 、 従って加工し得るガラス 板のサイ ズが制限される こ と とな り 、 またその研磨定盤が 回転するため、 供給された研磨剤が遠心力によ り直ちに外 周に流れ出る結果、 ガラス板と研磨定盤との間の研磨剤の 保持が十分でなく 、 更に、 回転する研磨定盤では外周と 内 周とで周速が異なるこ と とな り 、 均一な研磨が困難であ り 、 そ して従来の平面研磨機械では、 研磨仕上 り後、 次に研磨 すべきガラス板の研磨機械への供耠毎に研磨定盤の回転を 停止しなければならず、 作業能率が極めて悪いものである 。
[0007] 本発明は、 前記諸点に鑑み成されたものであ り ·、 その目 的とする と こ ろは、 加工し得るガラス板のサイ ズが制限さ れる こ とがなく 、 大きなガラス板から小さなガラス板まで 精度良く 平面研磨し得るガラス板の平面研磨機械を提供す る こ と にある 。
[0008] 本発明の他の目的は、 ガラス板と研磨定盤との間に研磨 剤を所望に保持し得て 、 平面研磨を困難なく行い得るガラ ス板の平面研磨機械を提供するこ と にある 。
[0009] 本発明の更に他の目的は、 ガラス板の表面に極めて均一 な研磨を施し得るガラス板の平面研磨機械を提供するこ と にある。
[0010] また本発明の他の目的は、 平面研磨における作業能率を 飛躍的に向上させる こ とができ るガラス板の平面研磨機械 を提供するこ と にある 。 発明の開示
[0011] 本発明によれば前記目的は、 外表面に研磨層を備えた研 磨ベルト と 、 この研磨ベル ト を走行させる走行装置と 、 ガ ラス板に対する研磨領域で研磨ベル卜 を平面的に支持する 平面支持装置と 、 研磨されるべき ガラス板を保持する と共 にこの保持したガラス板を、 平面支持装置によ って平面的 に支持された研磨ベル トの外表面に押圧する保持、 押圧装 置と を具備するガラス板の平面研磨機械によ って達成され る。 - また本発明によれば前記目的は、 平面支持.装置によ って 研磨ベル トが支持される平面と平行であって研磨ベルトの 走行方向と交差する方向に保持、 押圧装置によ って保持さ れたガラス板を研磨ベルト に対して相対的に揺動させる揺 動装置を更に具備している上述のガラス板の平面研磨機械 によ って も達成される 。
[0012] 本発明における揺動装置は、 一つの例では、 ガラス板に 対して研磨ベルト を揺動させるよ う に、 研磨ベルト に連結 されてお り 、 他の例では、 研磨ベルトに対してガラス板を 揺-動させるよ う に、 押圧、 保持装置に連結されている。 従 つて本発明では揺動装置の例と しては、 保持、 押圧装置を 研磨ベルトの走行方向と交差する方向において固定して配 置する一方、 研磨ベル トを揺動させて、 これによ り平面支 持装置によ って研磨ベル トが支持される平面内であって研 磨ベルトの走行方向と交差する方向に研磨ベル トに対して 保持、 押圧装置を相対的に揺動させて もよ く 、 或いは、 研 磨ベルト をその走行方向と交差する方向において固定して 配置する一方、 保持、 押圧装置を揺動させて 、 これによ り 平面支持装置によ って研磨ベルトが支持される平面内であ つて研磨ベル トの走行方向と交差する方向に研磨ベルトに 対して保持、 押圧装置を相対的に揺動させても よいのであ る。 揺動速度は、 研磨ベルトの走行速度等との関連で決定 すれば良いのであるが、 一つの例と して約 7. m Z分の速度 を提示し得る 。
[0013] 本発明の研磨ベル トは、 好ま しい例では無端ベル トから なっているが、 本研磨ベル トは、 支持層と 、 こ の支持層に 支持された研磨層と してのパフ層と を少なく と も具備して 形成されてお り 、 バフ層は、 例えばフ ェル ト 、 皮革、 スポ ンジ又はゴム系若しく は樹脂系の材料からなり 、 好ま しい 例と して発泡ウ レ タ ン又はポ リエステル繊維の不織布を提 示し得、 本バフ層は支持層に接着又は溶着されている。
[0014] 更に本発明によれば前記目的は、 保持、 押圧装置によ つ て保持されたガラス扳を、 平面支持装置によ る研磨ベルト の支持平面と平行な平面内で回転させるガラス扳回転装置 を更に具備する上述のガラス板の平面研磨機械によ って も 達成される。
[0015] 本ガラス板回転装置によ るガラス板の回転速度は、 ベル トの走行速度、 ガラス板の寸法等によ って決定され、 一つ の好ま しい例では、 例えば 1 3 r p mの回転速度でも って ガラス板を回転させる よ う に 、 本ガラス板回転装置は形成 される。
[0016] また本発明によれば前記目的は、 保持、 押圧装置を移動 させる移動装置を更に具備している上述のガラス板の平面 研磨機械によ って も達成される'。 本発明における移動装置 は、 一つの例では、 少なく と もガラス板に対する研磨領域 で、 保持、 押圧装置によ って保持されたガラス板を、 平面 支持装置によ る研磨ベルトの支持平面と平行な平面内で移 動させる よ う に、 構成されて いる 。 更に無端循環機構を具 備する本移動装置の一つの例では、 この無端循環機構に保 持、 押圧装置が取付けられていて も良く 、 このよ う に無端 循環機構に保持、 押圧装置を取付けて移動装置を構成する と 、 連続研磨を行い得る結果、 作業能率を飛躍的に向上さ せる こ とができ 、 製品のコス トを大幅に低下させ得る。
[0017] 次に本発明を、 図面に示す好ま しい具体例に基づいて説 明する.。 これによ り前記発明及び他の発明が明瞭と なるで あろ う 。 .
[0018] ¾:お、 本発明はこれら具体例に何等限定されないのであ る。
[0019] 図面の箇単な説明
[0020] 第 1 図は、 本発明によ るガラス板の平面研磨機械の好ま しい一具体例の正面図、
[0021] 第 2図は、 第 1 図に示す具体例の平面図、 第 3図は、 第 1 図に示す具体例においてガラス板供給畤 の正面図、
[0022] 第 4図は、 本発明によるガラス板の平面研磨機械の好ま しい他の具体例の正面図、 そ して
[0023] 第 5図は、 第 4図に示す具体例の断面図である。
[0024] 発明を実施するための最良の形態
[0025] 第 1 図から第 3図において 、 研磨無端ベルト 1 を A方向 に、 例えば速度約 1 5 0 m Z分で走行させる走行装置 2は フ レーム 3に回転自在に支持されたテール ドラム 4及び駆 動ド ラム 5 と 、 基台 6 に取付けられた駆動モータ 7 と を具 備してお り 、 駆動 ド ラム 5 の中心には、 スプラ イ ンシャ フ ト 8が揷通されてお り 、 両端で軸受 9及び 〗 0 を介して基 台 6 に回転自在に支持されたシャ フ ト 8は駆動 ド ラム 5 の 中心に形成されたスプライ ンナ ツ ト にスプラ イ ン連結され てお り 、 これによ り シャ フ ト 8に対して駆動ド ラム 5は A 方向と交差する方向の一つである直交方向、 即ち B方向に 摺動自在と されている 。 シャ フ ト 8の一端側に取付けられ たプーリ 1 1 とモータ 7の回転出力軸に取付けられたァー リ 1 2 との間には、 チェーン若しくはベル ト 1 3が掛け渡 されている。 この構成でも ってモータ 7の作動でプーリ 1 2が回転される と 、 チェーン若し くはベル ト 1 3 、 駆動 ド ラム 5 を介してベル ト 1 は A方向に走行される 駆動 ド ラム 5 と テール ド ラム 4 との間に掛け渡されたべ ルト 1 は支持層 1 4 と支持層 1 4の外表面の全巾、 全周に 亘つて接着されたバフ層 1 5 と を具備して均一な厚さ も つ て形成されてお り 、 ベルト 1 の外表面に位置する研磨層と してのパフ層 1 5は本例では発泡ウレタン材からなる。
[0026] ガラス板 2 0に対する研磨領域で研磨ベル ト 1 を平面的 に支持する平面支持装置 2 1 は、 両端でフ レーム 3 に支持 された支持板 2 2 を具備してお り 、 支持扳 2 2はベル ト 1 の上方の走行部の下面に近接して配置されてお り 、 ベル ト 1 の走行においてベル ト 1 の上方の走行部の支持層 1 4 と 摺接してベル ト 1 を平面的に支持する支持板 2 2の上面は 高い平坦精度と醪磨耗特性を も って形成されている 。
[0027] 研磨されるべきガラス板 2 0 を保持する と共にこ の保持 したガラス板 2 0 を、 ガラス板 2 0 に対する研磨領域で平 面支持装置 2 1 によって平面的に支持された研磨ベルト 1 の外表面、 即ちパフ層 1 5 に押圧する保持、 押圧装置 3 1 は、 ガラス扳 2 0 を保持する保持カ ップ 3 2 と 、 軸受 3 3 を介して フ レーム 3 4 に回転自在に支持されて一端に保持 カ ップ 3 2が取付けられたスプライ ンシャ フ ト 3 5 と 、 ス プライ ンシャフ ト 3 5の他端に力 ップリ ング 3 6 を介して 一端が連結されたビス ト ン口 ッ ド 3 7 を有して フ レーム 3 4 に取付けられたエアーシ リ ンダ装置 3 8 と を具備してい る。 研磨されるべきガラス板 2 0は研磨されるべき平面を 露出せしめて保持カ ップ 3 2 に嵌着されて保持される。 ス プラ イ ンシャ フ ト 3 5は上述のよ う に軸受 3 3 によ り フ レ —ム 3 4 に回転自在に支持されている上に、 軸受 3 3 と ス プライ ン連結してお り 、 軸受 3 3 に対して垂直方向、 即ち C方向に移動自在と されている。 カ ツアリ ング 3 6 はスァ ラ イ ンシャ フ ト 3 5の回転をェアーシ リ ンダ装置 3 8のピ ス ト ンロ ッ ド 3 7 に伝達しないよ うにしている 。 .ェアーシ リ ンダ装置 3 8はその作動によ りスプライ ンシャ フ ト 3 5 を C方向に移動させ、 これによ り保持カ ップ 3 2は研磨べ ルト 1 に対して進退される こ と となる 。 なお本例では、 複 数枚、 即ち 4枚のガラス板 2 0 を同時に研磨すべく 、 こ の よ う な保持、 押圧装置 3 1 が 4台フ レーム 3 4上に設けら れている 。
[0028] 保持、 押圧装置 3 1 によ って保持されたガラス板 2 0 を 平面支持装置 2 1 によ る研磨ベル ト 1 の支持平面と平行な 平面内で、 例えば回転速度約 1 3 r p mで回転させるガラ ス板回転装置 4 1 は、 スプラ イ ンナッ トを兼ねる と共にス プラ イ ンシャ フ ト 3 5 にスァライ ン連結されて フ レーム 3 4 に回転自在に支持されたアーリ 4 2 と 、 フ レーム 3 4 に 取付けられた駆動モータ 4 3 と を具備してお り 、 駆動モー タ 4 3の出力回転軸に取付けられたプーリ 4 4 とプー リ 4 2 との簡には、 チヱ一ン又はベル ト 4 5が掛け渡されてい る 。 チェーン又はベル ト 4 5は、 複数のプーリ 4 2 に確実 に係合すべく 、 フ レーム 3 4 に回転自在に支持された案内 Π—ラ 4 6によ って案内されている 。
[0029] 保持、 押压装置 3 1 を少なく と もガラス板 2 0 に対する 研磨領域で研磨ベルト 1 の支持平面と平行な平面内で D方 向に、 例えば約速度 0 . 7 mノ分で移動させる移動装置 5 1 は、 横部材 5 2 に取付けられた駆動モータ 5 3 と 、 両端 で軸受 5 4及び 5 5 を介して横部材 5 2に回転自在に支持 され且つ一端でモータ 5 3 の出力回転軸に連結されたね じ 軸 5 6 と を具備してお り 、 ね じ軸 5 6はフ レーム 3 4 に固 着されたナッ ト 5 7 に螺合してお り 、 フ レーム 3 4は一対 の案内レール 5 8 を介して横部材 5 2 に D方向に移動自在 に支持され.ている 。 横部材 5 2は一対の支柱 5 9 を介して 基台 6 に支持されている。
[0030] 平面支持装置 2 1 によ って研磨ベル ト 1 が支持される平 面と平行であって研磨ベル ト 1 の走行方向 A と交差する方 向、 本例では走行方向 A と直交する方向である B方向に研 磨 ル ト 1 に対して保持、 押圧装置 3 1 を相対的に揺動さ せる揺動装置 6 1 は、 基台 6 に取付けられた駆動モータ 6 2 と 、 両端で軸受 6 3及び 6 4 を介して基台 6 に回転自在 に支持されて且つ一端でモータ 6 2の出力回転軸に連結さ れたねじ軸 6 5 と を具備してお り 、 ねじ軸 6 5はフ レーム 3 に固着されたナッ ト 6 6 に螺合してお り 、 フ レーム 3は 一対の案内レール 6 7 を介して基台 6 に B方向に移動自在 に支持されている 。 このよ う に本例では、 揺動装置 6 1 保持、 押圧装置 3 1 に対して研磨ベル ト 1 を揺動させる よ う に、 フ レーム 3等を介して研磨ベル ト 1 に連結されてい る。 本例では揺動によ る研磨ベルト 1 の Β方向の移動速度 が約 7 m Ζ分程度になるよ う に設定されて いる 。
[0031] 保持力 ッァ 3 2 の近傍には研磨剤供耠パイ プ 7 1 の一端 7 2が夫々配されてお り 、 パイプ 7 1 の他端は研磨剤供給 ポンプ (図示せず〉 に連結されている 。 研磨剤と しては、 酸化セ リ ゥムを水に混入させたものが適用されている。
[0032] このよ う に構成されたガラス板の平面研磨機械 8 0では 新規に研磨すべきガラス板 2 0 を平面研磨機械 8 0 に供給 する際には、 第 3図に示すよ うな位置にフ レーム 3 4がも たらされる 。 この位置で各保持カ ップ 3 2 に各研磨すべき ガラス板 2 0 を嵌着せしめる 。 そ してモータ 5 3の作動で ねじ軸 5 6が回転される と フ レーム 3 4が D方向に鬨して 移動されて各保持カ ップ 3 2が研磨ベルト 1 上にもたらさ れる 。 この状態で次ぎにェアーシリ ンダ装置 3 8及びモ一 タ 4 3が作動される こ と によ りスプライ ンシャ フ ト 3 5が C方向に鬨して移動される と共に回転され、 これによ り保 持力 ップ 3 2が回転されつつ研磨ベルト 1 に向かって下降 される 。 研磨ベル ト 1 に所定の押圧力で各保持カ ップ 3 2 に保持されたガラス板 2 0が押圧される と 、 ェアーシリ ン ダ装置 3 8によ る保持力 ッァ 3 2の下降が停止されガラス 板.2 0は回転されたま まの状態で研磨ベル ト 1 にェアーシ リ ンダ装置 3 8のエア一弾性下で押圧される。 研磨ベルト 1 は、 モータ 7 の作動によ るスプラ イ ンシャ フ ト 8の回転 と 、 モータ 6 2の作動によ るねじ軸 6 5の回転と によって 予め A方向に走行されている 共に B方向に揺動されてい る。
[0033] 尚、 研磨ベル 卜 1 の B方向の揺動は、 ね じ軸 6 5 を一定 数回転毎に正転、 逆輊させる よ う に、 モータ 6 2 を作動せ しめるこ と になされる 。 こ う して保持カ ップ 3 2に保持さ れて回転するガラス扳 2 0が A方向に走行する と共に B方 向に揺動する研磨ベル ト 1 に押圧される こ と によ り 、 回転 されるガラス扳 2 0の表面に対して平面研磨がなされる こ と となる 。 研磨中、 研磨剤供給パイ プ 7 1 の一端 7 2から 研磨ベル ト 1 上に研磨剤が供給される 。
[0034] 所定の研磨が終了する と 、 保持力 ップ 3 2が研磨ベルト 1 から後退するよ う に各エアシリ ンダ装置 3 8が作動され る と共にフ レーム 3 4が第 3図に示す位置にもたらされる よ う にねじ軸 5 6がモータ 5 3 ·によ り 回転され、 同時に保 持カ ップ 3 2の回転が停止される 。 これによ り保持カ ップ 3 2等が搭載されたフ レーム 3 4が第 3図に示す位置にも たら される。 -この位置で研磨の終了したガラス板 2 0が保 持力 ップ 3 2から取外されて新たな研磨すべきガラス板 2 0が再び保持力 ッァ 3 2に嵌着されて上述の作業が繰り返 される。
[0035] このよ う にガラス板の平面研磨機械 8 0では、 一定方向 に直線的に走行する研磨ベル ト 1 にガラス板 2 0 を押圧し てガラス板 2 0 を平面研磨しているため、 研磨ベルト 1 の 幅及び平面支持装置 2 1 の支持板 2 2 幅を広くすれば筒 単に大きなガラス板 2 0 を研磨し得、 加工し得るガラス板 のサイズが制限される こ とがなく なり 、 大きなガラス板か ら小さなガラス板まで精度良く平面研磨し得る 。 そ して直 線的に走行する研磨ベルト 1 によ り研磨するため、 全幅方 向に亘つて研磨速度が同一となり 、 ガラス板の表面に極め て均一な研磨を施し得る。 更に、 供耠される研磨剤に研磨 ベル ト 1 からの遠心力が作用 しないため、 ガラス板 2 0 と 研磨ベルト 1 との間に研磨剤を所望に保持し得て、 研磨剤 の機能 確実に発揮させる こ とができ 、 そ して平面研磨機 械 8 0では揺動装置 6 1 が設けられているため、 研磨にお いてガラス板 2 0の表面に線等が付く こ とがなく 、 極めて 均一な研磨をガラス板 2 0 に施し得る 。
[0036] ガラス板の平面研磨機械 8 0では、 フ レーム 3 4 を往復 させるょ ゔに移動装置 5 1 を形成したが、 これに代えて第 4図及び第 5図に示すよ う に、 無端循環機構からなる移動 装置 8 1 を具備せしめて平面研磨機械 1 0 0 を形成して も 良い。
[0037] 第 4図及び第 5図において 、 移動装置 8 1 は、 研磨ベル ト 1 を跨いで基台 6上に設けられたフ レーム 8 2に、 回転 自在に取付けられたチ ー ンホイ ール 8 3及び 8 4 と 、 チ ーンホイ ール 8 3及び 8 4間に掛け渡されたキヤタビラ チェーン 8 5 と 、 フ レーム 8 2に取付けられた駆動モータ 8 6 と を具備してお り 、 モータ 8 6の出力回転軸に取付け ちれたプーリ 8 7 と チューンホイ ール 8 3の回転軸に取付 けられたプーリ 8 8 と の間にはベルト又はチューン 8 9が 掛け渡されてお り 、 モータ 8 6の出力回転軸の回転でブー り 8 7が回転される と 、 ベル ト又はチュー ン 8 9及びプー リ 8 8を介してチヱ一ンホイ ール 8 3が回転され、 その結 果キヤタ ビラチューン 8 5 も例えば走行速度約 0 . 7 mノ 分で E方向に循環走行される 。
[0038] 本例の各々の保持、 押圧装置 3 1 では、 エアシリ ンダ装 置 3 8はブラケッ ト 9 0 を介して軸受 3 3 に支持されてお り 、 軸受 3 3はキヤタ ビラチェーン 8 5の リ ンクプレー ト
[0039] 9 1 に取付けられている。
[0040] ガラス板回転装置 4 1 は、 本例では、 スプラ イ ン シャ フ ト 3 5にスプライ ン連結するスプライ ンナツ ト を兼ねる ピ 二オン 9 2 と 、 ブラケ ッ ト 9 3 を介してフ レーム 8 2に固 定されたラ ッ ク歯 9 4 と を具備してお り 、 ラ ッ ク歯 9 4は 研磨ベル ト 1 の直ぐ上を走行するキヤタビラチュー ン 8 5 に沿って配置されている。 キヤタ ビラチヱ一ン 8 5の走行 でピニオン 9 2がラ ッ ク歯 9 4 と嚙合う と 、 ピニ才ン 9 2 は回転され、 これによ りスプラ イ シャ フ ト 3 5が回転さ れる よ う になってレ、る 。
[0041] 本例では更にピニオン 9 2 と ラ ッ ク歯 9 4 とが喃合う 領 域において研磨ベルト 1 が支持される平面と平行に伸長し て一対の案内部材 9 5がブラケッ ト 9 3 を介してフ レーム 8 2 に取付けられてお り 、 案内部材 9 5内にはローラ 9 6 が走行するよ う になっている 。 ローラ 9 6は、 リ ンクプレ ート 9 1 に取付けられたローラ支持板 9 8に回転自在に設 けられてお り 、 これによ り軸受 3 3及びスプラ イ ンシャ フ ト 3 5 を介して σ—ラ支持扳 9 8に連結された保持カ ップ 3 2は案内部材 9 5に案内されて研磨ベルト 1 の直ぐ上で は研磨ベルト 1 が支持される平面と平行に走行されるよ う になっている 。 こ のよ う に本例では研磨中、 研磨ベルト 1 の支持平面と実質的に平行にガラス板 2 0の被研磨面を走 行させる よ う な案内部材 9 5 、 ローラ 9 6等からなる案内 装置 9 7 を具備している。
[0042] 尚、 図示しないが第 4図において、 平面研磨機械 1 0 0 の左側には自動的に保持力 ップ 3 2に研磨すべきガラス板 2 0 を供給するガラス扳供耠装置が、 平面研磨機械 1 0 0 の右側には自動的に保持力 ップ 3 2から研磨されたガラス 板 2 0 を取出すガラス板取出 し装置が夫々設けられてお り これによ りガラス板 2 0の連続的研磨がなされるよ う にな つている 。 以上のよ う に形成されたガラス板の平面研磨機械 1 0 0 では、 モータ 8 6 の作動によ りプー リ 8 7 、 ベル ト又はチ エーン 8 9 、 アー リ 8 8及びチェーンホイ ール 8 3 を介し てキヤタ ビラチェーン 8 5は E方向に走行される。 キヤタ ピラチヱ一ン 8 5の走行で保持力 ップ 3 2 も次々に E方向 に走行される 。 保持カ ップ 3 2が研磨ベル ト 1 の直ぐ上に もたらされる と 、 対応するエアシ リ ンダ装置 3 8が作動さ れて保持カ ップ 3 2が下降され同時に案内部材 9 5 によ り 保持力 ップ 3 2はその走行が案内される と共にラ ッ ク歯 9 4 と ピニオン 9 2 との嚙合いによ り保持力 ッァ 3 2は回転 される 。 保持カ ップ 3 2の下降で、 保持カ ップ 3 2 に保持 されたガラス板 2 0は、 走行装置 2によ り A方向に走行さ れる と共に揺動装置 6 】 によ り B方向に揺動される研磨べ ル ト 1 に押圧され、 これによ りガラス扳 2 0に平面研磨が 施される 。 研磨中、 研磨剤供給パイ プ 7 1 の一端 7 2から 研磨ベル ト 1 上に研磨剤が供耠される 。
[0043] '所定の平面研磨が施されて保持力 ップ 3 2が駆動 ドラム 5に近づく と 、 対応するエアシリ ンダ装置 3 8 によ り保持 カ ップ 3 2は上昇されてガラス板 2 0 と研磨ベルト 1 と の 接触が解除される と共に、 案内部材 9 5によ る保持カ ップ 3 2の案内及びラ ッ ク歯 9 4 と ピニオン 9 2 と の嚙合いに よ る保持力 ップ 3 2の回転も解除されてガラス扳取出 し装 置によ り研磨されたガラス板 2 0が保持力 ッ プ 3 2から取 出される 。 空になった保持カ ップ 3 2はキヤタ ビラチェ一 ン 8 5の上方部の走行でガラス板供給装置の位置にまで運 ばれてこ こで再び新たな研磨すべきガラス板 2 0が保持力 ップ 3 2 に供給される 。 以後上述の動作が繰り返される 。 本ガラス板の研磨機械 1 0 0でも前述の研磨機械 8 0 と 同様の効果を得る こ とができ る上に、 ガラス板の研磨機械 1 0 0では、 ガラス扳 2 0の研磨加工を次々.に連続して行 い得るため、 極めてコス トの低いガラス扳製品を供給する こ とができ る 。
[0044] なお研磨機械 1 0 0では、 研磨中、 ガラス板 2 0 を研磨 ベル ト 1 の走行方向と 同じ方向に移動させたが、 これに代 えてキヤタビラチューン 8 5の走行方向を逆転して 、 研磨 中、 ガラス板 2 0 を研磨ベルト 1 の走行方向と逆に移動さ せる よ う にして も良いのである。 この場合所定の研磨速度 でガラス板 2 0が研磨される よ う に研磨ベル ト 1 の走行速 度、 キヤタビラチューン 8 5 の走行速度等を設定する。
权利要求:
Claims請求の範囲
( 1 ) 外表面に研磨層を備えた研磨ベル ト と 、 この研磨べ ルト を走行させる走行装置と 、 ガラス板に対する研磨領域 で研磨ベルト を平审的に支持す 平面支持装置と 、 研磨さ れるべき ガラス板を保持する と共にこの保持したガラス板 を、 平面支持装置によ って平面的に支持された研磨ベル ト の外表面に押圧する保持、 押圧装置と を具備するガラス板 . の平面研磨機械。
( 2 ) 平面支持装置によ って研磨ベル トが支持される平面 と平行であって研磨ベル 卜の走行方向と交差する方向に研 磨ベルトに対して保持、 押圧装置によ って保持されたガラ ス板を相対的に揺動させる揺動装置を更に具備している請 求項 1 のガラス板の平面研磨機械。
( 3 ) 揺動装置は、 ガラス板に対して研磨ベル ト を揺動さ せる よ う に、 研磨ベル トに連結されている請求項 2のガラ ス板の平面研磨機械。
( 4 ) ' 揺動装置は、 研磨ベル トに対してガ.ラス板を揺動さ せる よ う に、 保持、 押圧装置に連結されて いる請求項 2の ガラス板の平面研磨機械。
( 5 ) 研磨ベル *卜は、 無.端ベルトからなっている請求項 1 から 4のいずれか一項のガラス板の平面研磨機械。
( 6 ) 保持、 押圧装置によ って保持されたガラス板を 、 平 面支持装置によ る研磨ベル トの支持平面と平行な平面内で 回転させるガラス板回転装置を更に具備する請求項 1 又は 2のガラス板の平面研磨機械。
(7) 研磨ベルトは、 無端ベルトからなっている請求項 6 のガラス板の平面研磨機械。
(8) 保持、 押圧装置を移動させる移動装置を更に具備し ている請求項 1 又は 2のガラス板の平面研磨機械。
(9) 移動装置は、 少なく と もガラス板に対する研磨領域 で、 保持、 押圧装置によ って保持されたガラス板を 、 平面 支持装置によ る研磨ベルトの支持平面と平行な平面内で移 動させる よ う に、 構成されている請求項 8のガラス板の平 面研磨機械。
(10) 移動装置は、 無端循環機構を具備してお り 、 無端循 環機構に.保持、 押圧装置が取付けられている請求項 9のガ ラス板の平面研磨機械。
(11) 保持、 押圧装置によ って保持されたガラス板を 、 平 面支持装置による研磨ベル トの支持平面と平行な平面内で 回転させるガラス板回転装置を更に具備する請求項 1 0の ガラス扳の平面研磨機械。
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引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
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1991-12-26| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP KR US |
1991-12-26| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU NL SE |
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1995-11-22| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1991910446 Country of ref document: EP |
优先权:
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